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High Speed Direct Writing

​熟練技術による高速描画

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​​■ピラー形状

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​​■波形状

Bush Clover のアライアンスには、電子線描画やレーザー描画とも異なる高速描画装置を保有しているメンバーがおります。

熟練の技術を更に高めることで実現した唯一無二の技術となります。

この高速描画装置を用いる事でφ8インチへの微細加工が可能となります。

電子線描画では膨大な時間を必要とする大面積への描画時間を大幅に短縮させ、レーザー描画では作製できないナノスケールでの解像度による微細構造が製作可能となります。

また、一般的なL&Sやホール、ピラー形状以外にも、波形状等の特殊な形状の製作にも対応可能となります。

​直接描画による波形状
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材質:Si , NI

寸法:W300nm Pitch1um

​パターンエリア:~□50mm

高速描画装置による波形状を製作しました。

幅300nmのラインを波状に形成し□50㎜まで製作が可能となります。

​2025年1月より受託加工を開始しました。

​©2022 Bush Clover Inc. All rights are reserved.
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