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材質:Si、Ni
寸法:W300nm Pitch 1um
パターンエリア:~□50㎜
材質:Si
最小線幅:50nm
パターンエリア:□2.5um
材質:Si
寸法:Pitch 250nm / H 600nm
パターンエリア:□20mm
材質:Si
寸法:W5.5um / Pitch 10um / H67um
材質:SiO2
寸法:φ30nm / Pitch 50nm / H 30nm
材質:レジスト, Ni等
寸法:Radius 15um / Depth 15um
【ご提供:国立研究開発法人 物質・材料研究機構】