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材質：Si、Ni
寸法：W300nm Pitch 1um
パターンエリア：～□50㎜
材質：Si
最小線幅：50nm
パターンエリア：□2.5um
材質：Si
寸法：Pitch 250nm / H 600nm
パターンエリア：□20mm
材質：Si
寸法：W5.5um / Pitch 10um / H67um
材質：SiO2
寸法：φ30nm / Pitch 50nm / H 30nm
材質：レジスト, Ni等
寸法：Radius 15um / Depth 15um
【ご提供：国立研究開発法人 物質・材料研究機構】
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Bush Clover株式会社
■ Bush Clover本社
〒194-0215 東京都町田市小山ヶ丘6丁目5番1
■ Bush Clover 町田営業所
〒194-0013 東京都町田市原町田4-20-18-101
TEL / FAX：042-812-6453
E-mail: info@bushclover.co.jp
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